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保護テープ剥離機 「FiTsealer-R」(自社商品)

【半導体ウェハ裏面研削用表面保護テープ剥離装置】
剥離テープを使わずに剥がします
保護テープ剥離機 「FiTsealer-R」
業界初!剥離テープのいらない
テープレス剥離装置がついに誕生!
最後にゴミとして廃棄していた
剥離テープは、もう不要です。

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「FiTsealer-R」movie
保護機能 movie
 

立山マシン株式会社 大阪営業所
〒530-0001
大阪市北区梅田1-1-3-600
大阪駅前第3ビル6階17号
TEL /06-6346-1236
FAX /06-6346-1237
[ 担当 ] 竹田
 
お問い合わせ
立山マシン株式会社 CBC B.U.
〒930-1305
富山県富山市下番30番地
TEL / 076-483-9086
FAX /076-483-4150
E-mail / cbc_sales@tateyama.or.jp
[ 担当 ] 河上

新工法・テープレス剥離方法
新工法により環境物質、ランニングコスト軽減を実現。
保護テープ剥離機 新工法・テープレス剥離方法
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工法比較
保護テープ剥離機 工法比較
  従来装置 FiTsealer R
剥離テープ
必要 不要
ウェハへの負担
テープ貼付時に加圧 ウェハに非接触
剥離条件設定
(剥離方向・速度)
不可 可能
剥離原理
粘着テープでくっ付けて剥がす
不安定
剥離チャックで掴んで剥がす
安定
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ウェハ保護機能
ウェハ非接触によりダメージレスを実現
保護テープ剥離機 ウェハ保護機能
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当社 剥離工程
ウェハ非接触によりダメージレスを実現
 
保護テープ剥離機 当社剥離工程
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ウェハ保護機能
ウェハ・テープ厚み、剥離ヘッド高さを検出し保護機能に反映。
2重、3重の機能でウェハを保護。
ウェハ保護機能
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剥離テープコスト
テープコスト負担ゼロで年間約400万円の経費削減が可能。
保護テープ剥離機 剥離テープコスト
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コンパクトサイズ
コンパクト設計により床面積生産性が向上。
高さ1250mmの低身長で工場内が見渡せるだけでなく、
圧迫感のない、人にやさしいRデザイン採用。
保護テープ剥離機 コンパクトサイズ
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仕様
対象ウェハ
6,8/8,12/6,8,12インチの3タイプより選択可
剥離スピード
0.1〜100mm/sec
装置サイズ
W900mm×D1735mm×H1450o ※1
重量
約660kg
電源
3φ200V 50/50Hz 0.5kVA
空圧源
0.5〜0.97MPa 100NL/min(ANR)
真空源
-95kPa 100L/min
※1 装置仕様により変更になります。
※  上記仕様は、予告なく変更することがあります。

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