- 立山マシン株式会社
［プラズマ応用装置］
五酸化二窒素装置
概略
Overview
原料は、空気
生成方法をもっとシンプルに
従来の濃硝酸を用いた生成方式とは異なり、本装置は空気を原料とする新しいアプローチを採用しています。
取扱いに注意が必要な原料を扱うことなく、プラズマにより空気から五酸化二窒素を生成することで、安全と運用性の両立を実現しました。
原料が空気であるため、原料管理の負担やコストを抑えつつ、装置構成もシンプルに。
これにより、従来方式で課題となりがちだった安全対策・設置制約・導入コストを見直す選択肢を提供します。
仕様
Specification
基本仕様
| 装置寸法 | W700 mm × D460 mm × H604 mm |
|---|---|
| 装置重量 | 50kg |
| 定格電源 | 定格電圧：単相AC100 V（±10%） 周波数：50 Hz / 60 Hz |
| 消費電力 | 200 VA |
| 入力ガス | 低露点Airガス（大気圧露点 -60℃以下） |
| 出力ガス | 五酸化二窒素（N₂O₅）ガス |
| プラズマ発生部 | 発振周波数：9～12 kHz（高温プラズマ）/ 5～6 kHz（低温プラズマ） |
| 流量センサ | 高温プラズマ：上限 1.5 L/min、下限 0.8 L/min 低温プラズマ：上限 1.5 L/min、下限 0.8 L/min |
| マスフローコントローラ | 高温プラズマ：フルスケール 2.0 SLM 低温プラズマ：フルスケール 2.0 SLM 希釈Air：フルスケール 20.0 SLM |
| Air入力ポート | 適用チューブサイズ：φ1/4 inch / Φ6mm兼用 |
| N₂O₅ ガス出力ポート | 適用チューブサイズ：φ1/4 inch / Φ6mm兼用 |
外形寸法
Size
