- 立山マシン株式会社
［真空応用装置］
イオンビーム装置（ECRイオン源）
概略
Overview
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研究開発向け多価イオンビーム生成装置
特長
Features
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ミラー電磁石と永久磁石の組合せによるコンパクトなECRイオン源
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磁場を用いた荷電粒子の高効率閉じ込めによる多価イオン生成が可能
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複数の異なる周波数帯（2.45GHz／4～6GHz）のマイクロ波を重畳し、低圧域で高密度プラズマ生成が可能
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多価イオンビームの生成
用途
Purpose
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イオンビームを用いた材料分析、微細加工
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金属－炭素ハイブリッド材料（金属内包フラーレン）の研究開発