- 立山マシン株式会社
［真空応用装置］真空搬送装置（ミニマルファブ対応）
概略
Overview
真空仕様のミニマルファブ用ウェハ搬送（ロードロック）装置
特長
Features
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外気・微粒子から完全に遮断された状態で搬送容器からウェハを取出し、真空装置内にウェハを搬入出することが可能
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w267.5×d114×h378(mm)の空間に前室、ウェハ搬送ロボット、真空ポンプ、真空ゲージ、コントローラすべてを内蔵したコンパクト設計
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φ12.5mmウェハ1個を生産単位として極小規模で半導体製造工場を形成し、少量の半導体チップ・MEMSなどのマイクロデバイスを低コストかつ短期間で製造することを目的とした、革新的な多品種少量半導体製造システム