真空搬送装置（ミニマルファブ対応）
当社は、一般社団法人ミニマルファブ推進機構の参画メンバとして、ミニマルファブの開発と普及活動に携わっています。
真空用ウェハ搬送前室システム（真空PLAD）に関するご用命はぜひ当社まで。
ミニマルファブ
ミニマルファブ
φ12.5mmウェハ1個を生産単位として極小規模で半導体製造工場を形成し、少量の半導体チップ・MEMSなどのマイクロデバイスを低コストかつ短期間で製造することを目的とした、革新的な多品種少量半導体製造システム
φ12.5mmウェハ1個を生産単位として極小規模で半導体製造工場を形成し、少量の半導体チップ・MEMSなどのマイクロデバイスを低コストかつ短期間で製造することを目的とした、革新的な多品種少量半導体製造システム
PLAD（Particle-Lock Airtight Docking）
搬送容器とプロセス装置内部間のウェハ搬送において、ウェハを微粒子とガス分子から完全に遮断した状態で搬送を可能とする局所クリーン化前室システム
特長
- 外気・微粒子から完全に遮断された状態で搬送容器（ミニマルシャトル）からウェハを取出し、真空装置内にウェハを搬入出することが可能
- w267.5×d114×h378(mm)の空間に前室、ウェハ搬送ロボット、真空ポンプ、真空ゲージ、コントローラすべてを内蔵したコンパクト設計
- ドラッグ分子ポンプを内蔵し、前室内を高真空(10e-3Pa台)に排気することが可能
- 前室内を高真空に維持したまま、搬送容器内を真空圧⇔大気圧に置換することが可能
- 繰返し位置決め精度： ±0.1mm以下の高精度搬送が可能
仕様
- ウェハ搬送ロボット
・高い繰返し位置決め精度
・ティーチングが容易 - オートシャトルクランプ標準搭載
- 一体型制御ボード
- 高精度ウェハ検出機能
・反射方式による高精度ウェハ位置ずれ検出
・透明ウェハにも対応 - ミニマルシャトル内真空／大気圧置換機構
- ミニマルプロダクト認証取得済
